設(shè)備用途:主要用于太陽能電池生產(chǎn)中硅片擴散后表面磷硅玻璃的去除
工藝流程:上料→HF處理→純水清洗→純水清洗→噴淋漂洗→下料
技術(shù)特點:
●采用第四代最新技術(shù),全面完善的防酸、防腐措施,保護到機器每一個角落。
●彩色大屏幕人機界面操作,方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。
●高速移載機械手采用松下伺服程序控制,具有高速,防壓籃,可在提籃過程中歸正清洗籃,四點穩(wěn)定抓取,帶鉤抱籃等特點。
●實籃檢測系統(tǒng),比傳統(tǒng)邏輯檢測更可靠、更穩(wěn)定。