應用領域:
廣泛用于超LSI制造工廠、半導體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、超凈實驗室、超凈工作臺等其他要求超高潔凈度的場合
設計特點:
1、 主要用于過濾0.12um以上的空氣懸浮顆粒,作為十級與一級過濾系統的末端過濾
2、 濾料采用美國HV超細玻璃纖維濾紙制成,以熱熔膠為分隔
3、 此設計降低了運行成本,無隔板的熱塑性隔膠可以確保相同褶層間距,保證了最佳氣流通過,達到高容塵量,充分利用了過濾器整個深度的濾料
4、 外框采用經陽極處理增加強硬度及耐久的防腐性
5、 過濾器四周均用特殊密合劑密封,確保整個過濾器的密封性
6、 在過濾器進、出風面加裝噴塑護網,以保護濾紙不被損壞
7、 每臺過濾器均經嚴格測試
8、 過濾效率等級:U15、U16、U17(EN1822)
性能特點:
1、 效率高、阻力低、容塵量高
2、 重量輕、厚度薄
3、 安裝方便、運行成本低
濾料 |
U15-U17美國HV玻纖濾紙 |
密封膠 |
PU雙組份聚氨脂膠、熱熔膠 |
框材 |
鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框、塑膠框 |
防護網 |
噴塑菱形網 |
分隔物 |
EVA熱熔膠 |
密封膠條 |
EVA、氯丁橡膠、PU聚氨脂發泡膠 |
過濾效率 |
U15:99.9995%@0.12μm U16:99.99995%@0.12μm U17:99.999995%@0.12μm |
使用溫度 |
70℃ |
使用濕度 |
100% |
規格尺寸 (W×H×D) |
風量 (m3/h) |
容塵量 (g) |
過濾面積 (m2) |
初阻力 (pa) |
終阻力 (pa) |
過濾效率 |
610×610×50 |
450 |
570 |
7.13 |
180±10 |
400~600 |
U15~U17 |
610×610×69 |
600 |
830 |
10.37 |
|||
1170×570×69 |
1100 |
1460 |
18.28 |
|||
1220×610×69 |
1200 |
1640 |
20.41 |