GT Advanced Technologies 的多晶硅加工系統是一套完整的解決方案,旨在最大限度地減少產品在所有活動中的污染,其中包括化學氣相沉淀 (CVD) 還原爐產物收集以及最終的產品封裝。GT 的多晶硅加工系統包含對使用 GT 的 SDR 系列 CVD 還原爐生產的多晶硅棒進行收集、運輸、加工和封裝時所需的全部工程技術和設備。該系統可調整配置,以高效收獲長度達 3,000 毫米、直徑達 150 毫米的多晶硅棒。
多晶硅加工系統的特點與優點:
設備尺寸、數量和布局均經過精密計算,可為實現可靠的多晶硅加工提供相應產能
其移動產品存儲容器旨在防止產品從 CVD 還原爐收集區域運輸至最終多晶硅處理區域期間遭受泄漏風險
產品篩選和清潔室封裝區域的所有設備均以低污染材料制成
包裝系統的設計十分人性化,包括多晶硅產品最終封裝所需的全部設備
多晶硅加工系統成套產品:
工藝流程圖
推薦設備布局
加工設備 – 硅棒收獲設備、硅棒運輸車、材料處理設備、產品篩分設備和產品封裝設備
設備手冊
安全程序
操作程序
現場安裝和啟動
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