1. 設備簡介
1.1設備名稱:全自動硅片裝片機
1.2型號: GZP-2A
1.3設備用途:將方形硅片裝入到50片籃具中以及將硅片退到收片盒,以供下一工藝使用。
1.4操作方式:整個過程只需要把專用籃具和50片籃具定期進行更換即可,大大降低碎片率,減少手工跟硅片的接觸,避免了人為因素對硅片的污染,有效地提高了成品率和轉換率,創造可觀的經濟效益。
2.主要技術參數
2.1外形尺寸:1100(L)×970(W)×1525(H)(mm)
2.2裝/退片效率: 1800片/小時
2.3碎片率:≤1/1000(不含本身缺陷片)
2.4工位數:雙工位
2.5設備兼容156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)兩種規格的硅片。