青島青島賽瑞達電子裝備股份有限公司創業大賽
2013年10月15日,第二屆中國創新創業大賽[青島賽區]暨“軟控杯”首屆青島市創新創業大賽成功落下帷幕。大賽經過初賽、復賽、半決賽層層篩選,從420多家報名參賽項目中決出15家企業和6個團隊進入決賽,青島賽瑞達電子裝備股份有限公司參賽的“石墨烯薄膜材料關鍵設備研發及產業化項目”最終斬獲大賽“三等獎”及“最具成長潛力獎”,同時入圍中國創新創業大賽全國半決賽。
關鍵詞:擴散爐,PECVD,LPCVD,真空爐,鏈式爐,合金爐,氫氣爐,VGF
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